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紅外氣體傳感器
Gasboard-2060
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品特性
    • 使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
    • 響應(yīng)時間快，高靈敏度
    • 無耗材
    • 模擬/數(shù)字通信
    • 模塊化設(shè)計，便于集成

技術(shù)參數(shù)
檢測原理 NDIR
檢測氣體 SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性 ±0.5%
線性 ±1%F.S.
檢測限 1ppm

*具體參數(shù)請以規(guī)格書為準(zhǔn)，如需獲取更多技術(shù)信息，請聯(lián)系：027-81628829或info@gasanalyzer.com.cn
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